[前沿技术]由平行板和悬臂梁组成的MEMS线性致动器

美国宾厄姆顿大学结合了平行板电极和静电悬臂梁,以构建具有线性响应的静电MEMS驱动器。平行板是静电MEMS致动器的常见结构。两个板状电极是固定的,另一个是可移动的,可移动电极在静电力的作用下移动到固定电极以产生响应。静电力是高度非线性的,并且设备响应不稳定,因此提出了一种替代静电悬浮的方法。但是,经典的悬浮方案需要较大的驱动电压来驱动悬臂梁,其实际应用受到限……